二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9097041 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一種設計用於微電子生產的最先進的掩模和晶圓檢測設備。這種半導體生產系統提供全面的表面缺陷檢測功能,使用戶能夠識別蒙版和晶片上的最小缺陷,其尺寸可降至0.02微米。KLA SP1-TBI SURFSCAN由幾個單元系統組成，包括掩模檢查組和晶圓檢查組。MIU提供了先進的缺陷檢測功能，是大批量生產的絕佳選擇。該單元允許在Mask模式上進行高度精確的亞微米缺陷檢測,精度高達0.3微米。WIU提供了其他功能,允許對線鍵和其他外部缺陷進行缺陷檢查。除了先進的缺陷檢測功能外,TENCOR SP1-TBI SURFSCAN還提供多種成像選項,使其能夠檢查各種不同的功能。其中包括特征大小、長寬比和線寬/間距。它還提供獨特的角度補償和位置跟蹤功能,使其能夠準確快速地檢測傳統光學系統難以檢測到的缺陷。SP1-TBI SURFSCAN還能夠提供高保真成像解決方案。這利用了先進的算法，可以呈現文本，圖像，和模式上的面具有很大的細節程度。此外,該單元允許在3D晶片上進行快速、準確的測量,並具有高分辨率的模內特性,為生產線自動化提供可靠的結果。同時,這臺機器提供了強大的實時缺陷分析功能,用戶可以選擇即時保存和分析結果。總體而言,KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一種先進的生產工具,使用戶能夠準確識別口罩和晶片上的缺陷。它提供精確的測量和高保真成像，具有高度的細節和質量。此外,它還具有可靠的缺陷檢測功能,可幫助用戶檢測最小缺陷（最小缺陷可達0.02微米）。KLA SP1-TBI SURFSCAN具有靈活的成像選項和強大的缺陷分析功能,是半導體生產線的理想選擇。