二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9113669 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一種掩模和晶片檢查設備,旨在檢測圖樣掩模和晶片上的物理和電氣缺陷。該系統由高分辨率、光學成像單元、算法缺陷審查和軟件控制組成。該機器能夠對高達200毫瓦的入射光進行成像，以檢測尺寸小至0.3微米的缺陷，並能夠檢測到原本看不見的罕見缺陷。該工具利用20倍放大光譜成像資產和10倍物鏡，獲得同類中分辨率最高的缺陷檢測。該模型能夠檢測隨機物理缺陷以及可能導致晶片或掩模的電氣性能受損的電氣缺陷。此外，設備還能夠檢測到任何晶片對晶片和晶片對掩碼的註冊問題，使操作員能夠快速解決由陡峭的註冊問題引起的任何問題。該系統包括各種專有算法，這些算法可以快速準確地操作，以檢測圖案化掩碼和晶片上的物理和電氣缺陷。這些算法能夠檢測到標準光學成像可能無法看到的缺陷。這些算法旨在識別和測量掩模到掩模和晶片到晶片配準的缺陷。KLA SP1-TBI SURFSCAN單元旨在幫助客戶快速準確地識別生產過程中的任何物理或電氣缺陷。此外,該機器與各種行業標準檢查程序兼容,使客戶能夠輕松地將其現有系統集成到TENCOR SP1-TBI SURFSCAN平臺中。該工具旨在為用戶提供快速、可靠的缺陷檢測。