二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9115137 待售
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已售出
ID: 9115137
System, 8"/12" or 6"/8"
Single Station, Dual Station, 4 Stations and DFIMS are available to convert
Properties: SEMI standard wafer thickness and geometry
Material: Silicon wafers that scatter 10% of incident light
Defect Sensitivity (PSL sphere equivalent)
0.08 diameter, normal illumination
0.06 diameter, oblique illumination (optional)
95% capture rate
Haze Sensitivity: 0.005ppm
Repeatability Count: CV1 1.0% (Mean count 2000, 0.155 diameter latex spheres)
Edge Exclusion: 3 mm
XY Coordinates (optional) Coordinate Accuracy: 80th percentile 20
Throughput (200mm): Up to 125 wph @ 0.08
Front side Contamination: 0.001 particles/cm²/pass 0.12
Cassette Handling Standard: Single puck with one cassette station
Illumination Source: 30mW Argon-Ion laser, 488nm wavelength
Operator Interface: Keypad, pointing device and keyboard standard
Operating System: Windows NT 4.0
Installation Requirements:
Vacuum: 20KPa (24”Hg)
Electrical: 200-240V 50/60 Hz
Power Requirement: 5.4 kVA
Ducted Venting: Two 102mm (4”) exhaust hoses
Environment: Class 10 or better
SP1/TBI 4Station, SP1/TBI 4 Station, SP1/TBI 4 Stations, SP1/TBI DFIMS
SP1/DLS 4Station, SP1/DLS 4 Station, SP1/DLS 4 Stations, SP1/DLS DFIMS
SP2 and SP2/XP 12" DFIMS are also available.
KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是為高密度、高質量半導體生產而設計的最先進的掩模和晶圓檢測設備。它為先進的晶圓檢測提供了高精度成像，快速準確地檢測缺陷。該SP1-TBI利用先進的光學幹涉測量、大面積掃描、移相計量和圖像對比度增強等先進技術，精確檢測包括矽、砷、石英在內的各種基板上的臨界尺寸、地形和缺陷。SP1-TBI是一個桌面大小的系統，提供高達4µm的圖像分辨率。它能夠檢測直徑低至4.8 nm的缺陷,同時保持大於背景的亮度,以便於識別缺陷。該SP1-TBI允許單場或雙場成像,為不同的晶圓類型和應用程序提供精確定制的過程控制。該單元最多可容納六個晶片,最大晶片尺寸為200 mm,可與自動晶片處理程序或機器人組件一起使用。在光學方面，SP1-TBI擁有獨特的利用偏振編碼的雙反射光學機器。這樣可以確保卓越的成像質量,並為擴展缺陷提供卓越的靈敏度。它還采用了高速、高分辨率的電荷耦合器件（CCD）相機,進一步提高了刀具的靈敏度和吞吐量。該SP1-TBI還提供自動圖像捕獲、存儲和分析,以實現快速可靠的缺陷檢測。總體而言,KLA SP1-TBI SURFSCAN是一種可靠的掩碼和晶圓檢查資產,可提供卓越的缺陷檢測功能和跨基板材料、幾何形狀和尺寸的準確性。它在廣泛的基板上提供了快速、高效和準確的缺陷檢測,並具有易於集成到各種生產流程需求中的多功能性。
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