二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9117563 待售

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ID: 9117563
Top part of operator user interface.
KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一種精密的掩模和晶片檢測設備,旨在確保實現極高的產量和無缺陷的生產。它提供了一系列高級功能,以最大限度地提高蒙版和晶圓檢查過程中的效率和準確性。利用創新、先進的成像技術(IT)算法,它能夠快速檢測到10 nm以下的缺陷。該系統利用強大的數據集成功能,可實現高速圖像分析和快速自動缺陷校正。直觀的圖形用戶界面(GUI)使操作員能夠輕松快速有效地調整設置、運行檢查和查看結果。高級顏色映射功能有助於加快識別缺陷的任務,而且它配備了獨特的優化圖像分析(OIA)技術,可以更快地處理缺陷數據,幫助加快掩碼和晶圓檢查過程。為了進一步提高其結果的準確性,該單元采用了誤差放大分析技術,使其能夠有效識別最小的缺陷。此外,該機器設計為與KLA內部VisionQC圖像分析軟件等軟件完全兼容,從而實現了兩個系統之間的快速高效數據傳輸。其他功能如圖像模式聚類(IPC),一種基於軟件的缺陷識別算法,確保操作在交叉引用圖像數據時保持高效和準確。總體而言,KLA SP1-TBI SURFSCAN掩模和晶圓檢查工具提供了自動檢查、分析和缺陷校正的出色組合。其先進的IT算法能夠檢測到難以置信的小缺陷,而直觀的GUI和數據集成功能可確保快速、準確地執行操作。它是一種功能強大的資產,旨在提高掩模和晶圓檢查的準確性,同時幫助最大限度地提高產量並確保無缺陷生產。
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