二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9217636 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN掩模和晶片檢測設備是一種自動化工具,用於制造前晶片和掩模的特征級缺陷檢測。該系統旨在滿足半導體行業目不轉睛的檢驗要求。Surfscan系統利用先進的光學設計和專有的圖像處理算法,在特征級別準確檢測所有類型的晶圓和掩碼缺陷。Surfscan單元的光學設計采用了兩種激光器；一個用於成像，另一個用於照明。這兩種激光器產生均勻的定向偏振光束，然後通過一系列光學器件將其定向到晶圓或掩模。這種布置使得可以對晶片或掩模表面進行完整的360的掃描，提供諸如劃痕、顆粒和凹坑等缺陷的詳細圖像。Surfscan機器的專有圖像處理算法允許以高通量精確檢查晶圓和掩模表面。該算法利用邊緣檢測和子像素範圍對比度分析來分析所產生圖像的每個像素。此分析用於識別精度較高的缺陷。Surfscan檢查工具還具有自動聚焦和剪切補償功能,可對包含近端和遠端缺陷的樣品進行準確的缺陷檢測。有一個集成的晶圓處理資產，可以自動和手動裝卸樣品。該模型能夠檢驗多種類型的材料，包括矽、碳、氮化物、氧化物和氧化ha。它還能夠以高達15微米的速度進行掃描，從而能夠精確檢測所有類型的缺陷。Surfscan設備具有很高的可靠性和準確性,非常適合各種危險特征檢查應用。它也非常適合需要低成本、高級缺陷檢查功能的應用程序。