二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9227710 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一種先進的掩模和晶圓檢測設備，用於識別和檢測集成電路中的缺陷。它設計用於多個前端處理步驟的自動檢查，並提供掩模和晶圓特性的詳細測量，以確保持續提高產量。該系統配有敏感的光學子系統，可以檢測和測量晶圓和掩模上的亞微米特征和缺陷。它提供4像素或16像素配置,兩者均采用頂級雙能量白光場技術,能夠以高達90 nm的分辨率分析雙反射和透射模式圖像。此外，該裝置還配備了獲得專利的Z-Stage真空間隙采集級，對所有基板上的表面特征進行快速準確的測量。KLA還采用了TrueBright™圖像增強技術,進一步降低了靈敏度閾值,提高了檢測到的缺陷的信噪比。KLA SP1-TBI SURFSCAN允許用戶使用多種算法快速分析晶圓和掩碼信息。它能夠識別各種缺陷,包括劃痕、毛孔、空隙、顆粒、顆粒壁、線緣粗糙度、表面汙漬和溝槽。先進的缺陷檢測算法可以檢測與過程或幾何相關的缺陷,最低可達0.14 um。機器還提供了幾種自動化和可定制的測量功能，包括臨界尺寸分析、地圖可追蹤性和批量分析。此外，TENCOR SP1-TBI SURFSCAN被編程為使用戶能夠無縫集成他們現有的晶圓跟蹤軟件。該工具還包括一系列用於收集、可視化和分析結果的內置工具。它也可以在自動化的生產環境中操作，允許快速靈活的性能評估和缺陷/參數分析。簡而言之，SP1-TBI SURFSCAN是一種全面的掩碼和晶圓檢測資產，提供準確可靠的缺陷檢測和測量能力。它提供了一系列先進的光學和分析功能,旨在為持續的缺陷和屈服增強提供快速、高屈服和準確的解決方案。