二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9230128 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN設備是一種用於半導體加工的綜合掩模和晶圓檢測系統。它提供了對光刻面罩和半導體晶片高達150 mm的關鍵特征的詳細檢查，包括顆粒、空隙和突起等表面缺陷。這一單元包括一個自動化的在線檢查機器，它利用自上而下的成像技術來檢測面罩表面幾乎任何類型的缺陷，包括圖樣殘留物、顆粒、光掩模制造殘留物和邊緣缺陷等。精度和精度為2 nm。它利用稱為自動聚焦和特征（AFF）的專有成像工具快速掃描和檢測晶圓表面的缺陷。它還具有可選的SpectraScan NaturesSpec模式,能夠檢測紅外光譜中的精確表面特性。該資產還包括最新的軟件，如專利分析工具、完整的圖形功能和靈活的報告生成系統，以生成詳細的檢查報告。它還包括一個直觀的用戶界面軟件,具有簡單且易於導航的圖形用戶界面（GUI）。KLA SP1-TBI SURFSCAN模型可靠可靠,能夠對每小時50,000個模具進行詳細、準確的晶圓檢查。它的模塊化設計和堅固的結構使它能夠快速重新配置為專用應用程序,而無需復雜且耗時的編程。此外，它的設計符合各種行業安全標準，包括國際電工委員會（IEC）的安全規則和準則。在維護和支持方面,設備包括易於使用的基於Web的應用程序,允許客戶在線訪問技術支持和軟件維護。再者，這個系統也有自己專門的服務團隊，提供快速高效的客戶服務和支持。總體而言,TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一個綜合性的掩模和晶圓檢測單元,可提供快速的周期時間、高精度的結果以及集成的維護和支持。它為缺陷檢測提供了可靠的解決方案，可用於各個行業，包括制造、航空航天和汽車。