二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #293678701 待售

ID: 293678701
Particle inspection system, parts machine.
KLA/TENCOR SP1-TBI是一種全場、掩模和晶圓檢測設備。對晶片表面進行了快速、可重復和可靠的機械缺陷檢測,並對晶片表面進行了汙染、微裂紋和微粒陣列抗蝕劑的優化。KLA SP1T-BI包含具有高放大倍率和超高分辨率功能的空中成像傳感器,旨在感知所有特征,從而能夠精確檢查整個抗蝕劑表面,包括密集的線條/空間圖案。為了檢測最小的汙染物顆粒,TENCOR SP1 TBI采用了先進的充電系統。在檢查過程中,樣品表面上建立了一個靜電荷,這將導致粒子相互排斥並被擡起,使圖像系統能夠檢測到這些粒子。KLA SP1 TBI還包含多種更先進、最先進的圖像檢測技術,為用戶提供無與倫比的缺陷檢測靈敏度。它利用先進的高動態範圍光學、先進的亞像素成像、高速多通道圖像分析以及先進的缺陷分類算法來檢測人眼無法看到的缺陷,包括微觀層面的缺陷。該單元還包含強大的度量標準,使用戶能夠量化和了解檢查過程中發現的缺陷。這些度量包括一系列度量,這些度量可用於檢測、表征和分類缺陷,以及隨時間推移跟蹤晶圓產率。該機器還包含強大的分析,可用於分析檢驗數據和識別潛在的產量損失來源。KLA/TENCOR SP1T-BI是一種通用的掩模和晶圓檢測工具,非常適合任何半導體制造環境。它提供了無與倫比的性能和可靠性,並設計為與其他KLA系統協同工作,例如其高級晶圓審查和缺陷檢測系統。TENCOR SP 1-TBI將有助於確保您的產量保持在最高水平。
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