二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #293823422 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI的設計目的是為過程控制和監控提供對掩模和晶片的大視場檢查。該設備能夠從整個部門收集數據，每秒最多檢查200個抽樣點，從而全面涵蓋微妙的缺陷和非統一性。KLA SP1T-BI圍繞兩個主要功能構建：其成像系統，可準確檢測缺陷地點；以及其自動分析模塊，該模塊確定了缺陷的原因並提出了適當的糾正措施。該單位先進的光學和成像系統使用紫外線和可見光檢測肉眼不易看到的汙染物和小缺陷。TENCOR SP1 TBI包含兩種類型的光源：紫外線激光器（用於探測小至十分之一微米的粒子）和白光（用於照亮晶片和用於成像的掩模）。機器的探測器配備了檢測器放大器，在檢測缺陷時允許更高的精度和靈敏度。工具的自動分析模塊（AAM）是識別缺陷原因的強大工具。AAM對樣品進行物理和化學分析,並生成一份報告,列出兩者的結果。通過使用AAM,用戶可以快速準確地評估掩模或晶片缺陷的原因,並采取適當的糾正措施。KLA/TENCOR SP1 TBI設計為易於使用和維護。它具有直觀的圖形化用戶界面,使用戶能夠快速設置掃描參數並操作資產的功能。該模型的設計要求用戶盡量減少幹預，使其適合於在流程控制和監控至關重要的大批量生產應用程序中使用。TENCOR SP1-TBI是一種用於掩模和晶圓檢測的可靠、可靠且經濟高效的設備。其先進的光學和成像系統可快速檢測和檢測小缺陷，其自動分析模塊可快速識別缺陷原因並提出糾正措施。該系統易於使用和維護,非常適合用於大批量生產應用。