二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9163053 待售

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ID: 9163053
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2000
Unpatterned surface inspection system, 8"-12" Handler type: Automation-open cassette Notch alignment (1) Port, 8"-12" Currently installed and stored in cleanroom 2000 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI是為高性能應用而設計的靈活配置的掩模和晶圓檢測設備。它基於經過驗證的SP1平臺,采用先進的模式匹配算法、可編程聚焦光學、1600 x 4096分辨率CCD相機等新技術。該系統既經濟高效,又具有很高的可擴展性,對具有各種價格與性能需求的用戶具有高度的靈活性。KLA SP1T-BI配備了最新的高速光學和先進的照明,以滿足最新的蒙版和晶圓檢測應用的需求,包括3D和線條/空間特性。其強大的模式匹配、圖像處理和缺陷分析算法有助於產生準確可靠的結果。該單元具有先進的自動聚焦和曝光控制功能,可自動調整聚焦和照明設置,以確保獲得最佳效果。TENCOR SP1 TBI專為超高檢測吞吐量而設計,具備高速索引、高速成像、多任務能力。該機設有4軸三軸級,用於檢查多個區域以及復雜的幾何特征。通過其多任務功能,它允許用戶在忙於其他任務的同時設置作業無人值守運行。除了強大的功能外,KLA SP1 TBI還配有用戶友好界面,為操作員提供指導。它還包括一個直觀的用戶界面,帶有檢查參數和數據記錄的圖形提示。此外,該工具還配備了多種分析工具,包括缺陷尺寸測量和銅對玻璃檢查。總體而言,SP 1-TBI是高精度掩模和晶圓檢測應用的可靠且經濟高效的選擇。其高速光學、高級算法、直觀的用戶界面和靈活性使其成為尋求經濟高效且可擴展的解決方案的客戶的理想解決方案。
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