二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9257857 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一種面膜晶片檢測設備,是一種自動檢測系統,旨在檢測關鍵缺陷,以生產出質量最高的晶片。它用於檢查有圖樣或無圖案的設備掩碼、晶片和標線是否有缺陷,以便以最高的精度和效率進行評估。該單元在不依賴主觀判斷的情況下對圖像進行分析，而其高分辨率光學和高精度算法缺陷檢測能力能夠對各種掩碼和晶圓類型的缺陷進行檢測和分類。KLA SP1T-BI的光學機器利用具有可重復成像的大視場（FOV）目標,結合專有算法和旨在減少耀斑和均勻性誤差的光學設備,為每個光學場生成可靠和可重復的數據。該工具還具有可編程激光條帶照明功能,該功能針對掩模成像進行了優化,可實現高達0.45 μ m的標線分辨率和0.28 μ m的掩模檢查分辨率。硬件還包括用於自動晶圓交換的晶圓握把組、紅外成像能力以及可編程的機械臂，該臂從一個資產位置移動到另一個資產位置，以便於晶圓和掩模裝卸。功能強大的Vision Analyzer軟件集成了所有硬件組件和圖像的高級算法處理,並配備了人工智能（AI）支持的智能缺陷檢測技術,提供準確、可靠的圖像分析,可促進表面和地下缺陷檢測。而且，TENCOR SP1 TBI是為高通量應用而設計的，具有快速檢查和執行自動化。此模型在短時間內檢查數百個零件,並通過高分辨率彩色成像準確地提供結果。它允許用戶控制設備的參數，如像素大小、光源、曝光時間、缺陷大小等等，進一步保證了檢查的準確性。此外，系統還具有易於操作和參數控制的人性化界面。總之,TENCOR SP1 TBI是一種可靠、強大的掩模和晶圓檢測裝置.其硬件和高級Vision Analyzer軟件的實施提供了可靠的缺陷檢測功能,以及自動晶圓交換和高通量選項,以生產出質量最高的晶圓。