二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9266303 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一種獨立的半自動掩模和晶片檢測設備,它利用接觸圖像傳感器（CIS）來識別與掩模和晶片處理相關的故障。該系統設計用於對各種掩模和晶片的缺陷進行快速準確的檢測，以及從亞微米到毫米的粒子檢測。該單元有一個五英寸的非接觸式光學級，用於裝卸掩模或晶片。加載後,舞臺相對於CIS光束移動以生成掩模或晶圓表面的數字信號表示。將生成的數十萬個信號與原始掃描數據並排進行比較，以檢測任何缺陷。KLA SP1T-BI還配備了自動缺陷分類機，能夠區分顆粒、劃痕和其他隨機缺陷，並對其進行相應分割。此外，該工具能夠檢測芯片/通過故障，抵抗殘留，節點，電線和痕跡。通過先進的圖像配準算法來保持資產的準確性和速度。各種允許輕松操作物理樣本的功能增強了用戶體驗。該模型提供了兩種選擇感興趣區域（ROI）的方法：手動選擇和自動對齊。手動選擇允許用戶選擇任何感興趣的區域，開始檢查過程；自動對齊模式從預先存儲到設備中的參考圖像中選擇ROI。在任何掩模或晶片檢驗過程中，結果的質量取決於施加在樣品上的照明的均勻性。TENCOR SP1 TBI采用統一的可編程照明器來創建統一的照明場。照明器可編程，允許動態選擇不同波長，使各種樣品缺陷得到獨立處理。總之,SP1 TBI是一個高效可靠的系統,用於精確、自動化的掩模和晶圓檢測.該設備具有圖像配準算法和統一的可編程照明器，以及自動缺陷分類機，是高通量掩碼和晶圓檢測應用的理想選擇。