二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9277484 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是為要求最苛刻的掩模和晶圓生產環境而設計的先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統采用高分辨率、1200萬像素CCD攝像頭，提供優於傳統系統的圖像對比度和清晰度。該單元允許多種非接觸、自動檢查技術，如差分幹涉對比度顯微鏡（DIC）、亮場顯微鏡（BF）、暗場顯微鏡（DF）、聚焦離子束（FIB）和掃描電子顯微鏡（SEM）。該機器還使用戶能夠檢查各種不同類型的圖樣特征,包括線寬、空間和頻率,以及成品掩模和晶片中存在的缺陷。該工具能夠提供實時、高通量的數據采集和自動圖像采集、導航以及檢查數據的優化。這樣可以快速、準確地分析和審查檢查過程中發現的任何缺陷或差異。KLA SP1T-BI還擁有高達720幀/秒的高采樣率（FPS）。這使得它適合快速檢查高分辨率和高頻特性。資產也有廣闊的視野，可以在短時間內檢測到小缺陷。它還具有使用形態算法自動檢測和分析缺陷的先進視頻處理能力。這有助於最大限度地提高檢驗數據的定量準確性。TENCOR SP1 TBI也有很大的內存容量，允許它存儲圖像和處理過的數據進行長期存檔和審查。所有存儲的圖像和數據都可以直接在模型的顯示屏上檢查,也可以傳輸到PC進行進一步分析。綜上所述，KLA/TENCOR SP1 TBI是一款功能強大且先進的掩模和晶圓檢測設備，旨在提供最高水平的精度和速度。它具有高分辨率攝像頭、廣闊的視野和先進的視頻處理功能,所有這些功能都能夠快速準確地檢測缺陷。該系統還具有較大的內存容量和易於使用的界面，用於快速導航和檢查數據審查。