二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9290815 待售

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KLA / TENCOR SP1-TBI
已售出
ID: 9290815
Surface inspection system Single FOUP loader, 12".
KLA/TENCOR SP1-TBI是一種用於半導體晶片光學和電氣檢測的掩模和晶片檢測設備。該系統結合了高分辨率晶片成像、光譜圖像分析和專用的電氣測試能力,以確保所有晶片達到最高標準,滿足所有制造商的要求。科軍SP1T-BI單位進行的檢查是光學和電氣兩種方法的結合。光學檢查由一臺高分辨率晶圓成像機組成,該機學習和存儲一系列芯片布局,可以識別芯片布局中特征或結構的任何偏差。然後利用光譜圖像分析來比較和測量各種布局元素之間的差異。這樣,資產就可以檢測到特征大小、形狀、方向和詳細程度方面的任何異常,以及由於過程未對齊或不符合要求而可能出現的任何缺陷。TENCOR SP1 TBI模型還具有專用的電氣測試檢測能力。設備的這一部分包括一個高速電氣測試模塊,能夠測試和驗證被檢查設備的電氣特性。KLA/TENCOR SP1T-BI通過測量閾值電壓、泄漏電流、噪聲余量和開關特性等器件參數,能夠保證半導體晶片的電性能。KLA SP1-TBI系統能夠處理各種類型的晶片和先進的晶片格式,包括矽、砷化氙和SOI技術。該單元還能夠處理CMOS以外的各種技術,如MEMS、太陽能、BiCMOS和電力技術。該機器能夠生成晶片特征和結構的2D和3D檢查圖像,並能夠提供有關特征和結構是否符合客戶要求的反饋。TENCOR SP 1 TBI工具是一個完整的多功能晶片檢測解決方案,可以提供晶片布局及其關聯的電氣參數的詳細分析,確保晶片達到最高標準。KLA/TENCOR SP 1 TBI通過結合專用的電氣測試模塊、光譜圖像分析和高分辨率晶圓成像,讓制造商每次都能快速可靠地生產出質量最高的半導體產品。
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