二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9293511 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一種掩模和晶圓檢測設備，旨在為半導體制造過程提供可靠和準確的缺陷檢測。該系統基於最先進的TBI（瞬態光束檢測）技術，允許診斷照明，即使是最輕微的問題也能迅速暴露出來。KLA SP1T-BI是一種用於精密半導體制造的半自動檢測工具。它旨在檢查在最先進的光刻制造設備上制造的邏輯和內存設備。它使用了一系列激光器以不同波長和角度脈沖光線，使敏感特征在短時間內實現高分辨率成像。這樣可以準確檢測缺陷,從大缺陷到亞微米細節。該單元的精度通過其ControlScope技術得到進一步提高，允許操作員根據其期望的性能調整參數。為了評估缺陷,該機器使用專有的測量算法和軟件工具（如缺陷審閱編輯器和缺陷匹配）構建。這有助於識別各種類型的缺陷,並提供有關缺陷的大小、形狀、深度和位置的信息。TENCOR SP1 TBI配備了高度靈敏的校準和線性CCD檢測器矩陣，用於精確成像和更精確。其擴展的聚焦成像技術中和了灰塵和失焦缺陷的影響，允許快速、準確的檢測。該工具還為各種數據格式提供了可靠的CAD（計算機輔助設計）數據支持,從而實現了快速設置和高效的過程控制。此外,資產還可以創建報告,其中包含有關故障和缺陷的詳細信息,以便進行全面的過程分析和可追蹤性。這些特性使SP1 TBI成為半導體制造中有效的掩模和晶圓檢測的理想解決方案。其最先進的TBI技術、可靠的CAD數據支持、控制參數和擴展聚焦成像技術可快速、準確地檢測各種類型的缺陷,從而實現產品質量一致和產量更高。