二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9351867 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是為前端生產線設計的掩模和晶圓檢測設備。該系統提供全自動、非接觸式的二維和三維檢查過程，以確保半導體元件的質量。該單元在單個模塊化軟件包中結合了高級圖像處理、機器人技術和材料處理功能。KLA SP1T-BI使用先進的線掃描成像技術和數據校正算法來產生清晰、高分辨率的圖像。這種高分辨率的數據被送入自動缺陷檢測機器，該機器利用先進的圖像處理算法來檢測表面缺陷和地形變化。該工具還具有檢查各種樣品類型和樣品形狀的靈活性。TENCOR SP1 TBI能夠對2x4、2x6、3x3和4x4 mm組件執行bin檢查。該資產還具有檢測各種類型的非尺度缺陷的能力，如光致抗蝕劑殘留物、劃痕、凹坑和空隙。該模型還可以測量晶片的邊緣輪廓以進行缺陷表征。TENCOR SP 1 TBI還使用機器人技術自動處理和定位口罩和工件。這有助於確保設備部件始終精確對齊。該系統還可以配置為容納各種不同的樣本大小和形狀。KLA/TENCOR SP1 TBI采用用戶友好的圖形界面設計，並提供多種統計控制功能，以監測被檢驗樣品的質量。該單元還能夠存儲大量數據，使用戶能夠對缺陷和處理數據進行詳細的統計分析。此外,TENCOR SP 1-TBI還提供了多種數據輸出功能,包括標準映像格式、ASCII數據、網表輸出和數據庫文件。因此,該機器可以輕松集成到其他軟硬件環境的主機中。TENCOR SP1T-BI是一種功能強大且可靠的掩模和晶片檢測工具，設計用於高性能和準確性。其先進的成像和自動化功能使其能夠準確檢查樣品，靈活的配置使其能夠滿足各種應用要求。SP 1-TBI具有用戶友好的界面、廣泛的分析功能和數據輸出功能,是半導體元件生產線的理想解決方案。