二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9354265 待售

ID: 9354265
晶圓大小: 8"
Inspection systems, 8" External flat panel display, 22" SECS / HSMS Interface Light tower Histogram with zoom (2) Hard Disk Drive (HDD) Handlers, 8" (2) Sender stations: SMIF Inside load port (2) Receiver stations: Open cassette Dual arm vacuum handler robot Robot arm puck KEYENCE Ionizer bar FFU With fault alarm function ARGON Ion laser (30 mW): 488 nm Computer Operating system: Windows NT.
KLA/TENCOR SP1-TBI是一種用於掩模和晶片檢測的高度先進的設備。利用高速光學和二維圖像處理技術檢測這些材料中存在的缺陷。掩模和晶片檢查系統提供快速的樣品到樣品掃描速度,以便能夠快速準確地檢查零件。該設備能夠高精度地檢查掩模層和晶片的缺陷。它利用雙鏡頭光學機兩個放大倍率級提供詳細的分析。該工具具有自動和手動圖像采集和分析過程的能力。它還配備了大量軟件功能,如缺陷分類、缺陷大小和位置測量以及圖像的自動對齊。資產可以執行審查掃描,以便對基板進行串聯檢查。它的可伸縮圖像板為自動或手動比較結果提供了靈活性。它還提供了先進的光度量分析,可以檢測遮罩層上圖案的緯線和縱線的差異。此外,該模型有一個內置的微觀照相機,用於以亞微米分辨率分析樣品。KLA SP1T-BI具有內置的圖像捕獲和處理功能,可提供高精度和重復性。設備還能夠處理溢出和不完整的圖像。它支持大量的數據格式,可以與現有的IT網絡和系統集成。該系統通過提供可重復性、準確性和完整性,確保掩模層和晶片的質量最高。其先進的光學、高精度的分析能力和靈活性使得TENCOR SP1 TBI成為批量生產中進行掩模和晶圓檢測的理想單元。
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