二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9362764 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI （Surface Performance 1： Translating Beam Inspection）是KLA Corporation開發的一種面罩和晶圓檢測設備。它旨在檢查用於生產半導體的掩模和晶圓模具的模式性能。KLA SP1T-BI使用平移光束成像設備實時提供高精度的全場檢查。該系統由一個x-y-z掃描級和一個雙鏡頭光學單元組成，允許它在檢查時捕獲掩模或晶片的表面圖像。光學機器采用消色差透鏡，上部透鏡提供更高分辨率的圖像捕捉，下部透鏡保持廣角視角。該工具使用低成本視頻圖像分析硬件,提供高速檢查和掃描功能。TENCOR SP1 TBI配備了精密的照明器/探測器硬件，可以進行接觸和非接觸式檢查。並聯光束識別用掃帚掃描和CCD攝像機對圖像進行捕捉、處理和分析。利用內置的高動態範圍成像,資產可以檢測和測量掩模或晶圓表面上幾乎任何類型的模式變化,並生成數據豐富的模式性能報告。SP1T-BI還支持現場缺陷審查,並提供增強的模式檢查功能。它允許使用各種成像技術進行檢查，如光學字符識別（OCR）、激光圖像處理（LIP）、沼澤、微觀檢查、邊緣增強和對比度成像。此外，KLA/TENCOR SP1 TBI是一個高度可靠的模型。先進的檢測算法和多重照明技術有助於確保檢測提供完整準確的結果。該設備還提供安全的用戶界面，並采用專用傳感器和機器人技術的組合，確保安全維護和操作。KLA/TENCOR SP1T-BI具有優異的性能和可靠的性能，是口罩和晶片檢測和工藝開發的理想工具。它是一個功能強大的高端系統,可提供靈活性、準確性和可靠的數據完整性。