二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9375895 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一種用於檢測半導體工業中掩模薄膜和晶片電路模式缺陷的掩模和晶片檢測設備。該系統由一個先進的模式識別單元組成，用於自動和可重復的掩碼和晶圓檢查。KLA SP1T-BI具有兩個獨立的光學顯微鏡，能夠無損檢查小至100納米的復雜電路模式。顯微鏡使用自動成像光學系統捕獲電路的高分辨率圖像，然後由增強的模式識別機進行分析，以檢測任何可能的缺陷。憑借其高分辨率成像技術，TENCOR SP1 TBI能夠檢測到諸如空頭、橋接、針孔、晶粒以及各種類型的掩模錯誤等缺陷類型。該工具還具有基於缺陷類型、大小、位置和物理特征的高級缺陷分析和分類功能。它還可以在三個維度上精確測量缺陷大小和輪廓。該資產還具有用於快速晶片加載和掃描的集成晶片對準模型。這使設備能夠同時檢查大量的口罩和晶片。它還能夠將多個掩碼分成各個部分進行進一步分析。KLA/TENCOR SP1 TBI還提供了廣泛的質量保證工具，如快速設置和測試運行、自動校準、自動規則調整以及數據記錄功能。它還能夠進行離線和在線測試，並且可以在實驗室和生產環境中使用。此外，該系統設計低噪聲運行，可靠性高，適合高吞吐量生產測試。總而言之，TENCOR SP1 TBI掩模和晶片檢測儀是一種最先進的機器，旨在檢測掩模膜和晶片的復雜電路模式中的缺陷。憑借其高分辨率的成像技術、先進的缺陷分析和分類能力、集成的晶圓對準工具以及廣泛的質量保證工具，該資產適用於實驗室和生產環境。