二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9401034 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一種自動掩模和晶片檢查設備,用於檢查和檢測圖案化晶片、步進和重復（模式）掩模和光掩模上的缺陷。它利用精密的光學、吸收和圖樣識別能力，實現極高的檢測靈敏度和準確性。KLA SP1T-BI系統的核心是一個集成的軟硬件平臺，經過優化，能夠快速可靠地檢查圖案化晶片和掩模的表面。它包括500萬像素的SP1-C檢查攝像機，它采用先進的光學技術來捕捉缺陷和完美表面的詳細圖像。SP1-C光學技術為小至0.3 μ m的特征的檢測提供了卓越的靈敏度和準確性。它還具有高速圖像采集速率，允許快速檢查樣品。該單元還利用一系列檢查軟件組件和功能強大的處理器來應對高級工藝控制要求的挑戰。特別是Mask Plane Rating軟件是為可靠檢測和測量線寬、空間和其他邊緣特征而設計的,使其非常適合識別mask和晶片中的非均勻性錯誤。TENCOR SP1 TBI機器的成像軟件還為自動缺陷審查工具提供了獨特的輸入,從而能夠快速高效地審查缺陷位置、自動確認測試和自動缺陷分類。此外，該工具還包括先進的優化算法，使其能夠迅速確定感興趣的領域並確定這些領域的優先次序，以便進行深入檢查。SP1 TBI資產與各種靈活的配置選項和外圍設備工具（如AutoZone軟件）兼容,從而確保了模型的輕松對齊和配置。此外,該設備還能夠為掩模、晶圓制造和工藝工程師生成實時反饋,從而能夠快速評估工藝和實用的共同設計解決方案。總之,SP1T-BI自動掩模和晶片檢查系統提供了令人印象深刻的一系列高級功能、改進的準確性和快速的過程控制評估,使其成為陣列晶片和掩模檢查和檢測的理想選擇。