二手 KLA / TENCOR SP1 #293628417 待售

KLA/TENCOR SP1是一種先進的掩模和晶圓檢測設備，設計用於大容量工業環境。KLA SP1具有快速成像、精確控制和高效操作的特點,以最大限度地提高吞吐量和產量。TENCOR SP 1是圍繞KLA獲得專利的IR Ergonomics™設計的,IR系統由硬件和軟件組成,可最大限度地實現用戶集成、人體工程學和對齊功能。該裝置包括一個自動XY級，用於精確定位被檢查的掩模或晶片，以及一個強大的成像子系統。成像子系統包含兩行攝像機，晶圓或掩模的每一側各一行。這四個攝像機以不同的放大倍率捕捉圖像，從低分辨率到超高分辨率不等。機器的自動模式識別軟件同時對所有四個攝像機的圖像進行實時比較。TENCOR SP1專為高性能和可重復性而設計。該工具具有可互換的電光透鏡資產，可以在不同放大倍數之間自動切換，並允許進行一系列檢查。此外，KLA/TENCOR SP 1利用先進的光學映射技術確保精確對準。這樣可以防止任何離軸失真,並允許模型可靠地檢測缺陷。它的快速處理使檢查速度高達每小時100個晶圓。SP1也是高度可定制的,可以輕松集成到現有的制造過程中。該設備可配置用於各種檢查需求,包括半圓、橢圓、螺旋和矩形模式識別。它包括集成的數據分析工具，因此用戶可以快速解釋生成的圖像並快速調整參數以匹配其特定過程。KLA SP 1具有先進的實時成像和精確的模式識別功能,是掩碼和晶圓檢測應用的理想解決方案。強大的設計和全面的功能使其成為大批量生產的絕佳選擇。