二手 KLA / TENCOR SP1 #9000064 待售

KLA/TENCOR SP1是一款高性能、自動化的掩模和晶圓檢測設備，旨在滿足當今半導體制造商的嚴格要求。該系統利用先進的光學設計、數字圖像處理和先進的信號分析來檢測掩模和晶片表面的缺陷。KLA SP1檢查高達25毫米x 25毫米尺寸的口罩和基板,精度為0.05 µm特征尺寸。它采用多波長LED照明，在每個檢查點都有可變斜角，在視場上提供統一的分辨率。該設備還提供高級信號調節和信號分析功能,能夠檢測關鍵缺陷。TENCOR SP 1集成了先進的雙視圖掃描機，允許檢查兩個晶圓表面。結合先進的濾波技術和信號分析，即使是最小的缺陷和微坑也能有效檢測。該工具具有高級用戶界面,具有直觀的圖形菜單和易於使用的控件。這使操作員能夠快速定義檢查設置並跟蹤檢查結果。TENCOR SP1還提供了增強的狀態報告，允許運營商實時監控資產狀態。SP 1使用高級納米級成像模型，執行高對比度圖像檢測和分析。這種集成技術能夠捕獲其他檢查系統未發現的缺陷。該設備能夠檢測顆粒汙染、顆粒傾倒、管線缺陷、劃痕和其他高對比度特征。該系統由強大的可編程邏輯控制器（PLC）提供動力，提供對整個單元的優越控制，而機器可以集成到現有的網絡和數據庫中，以提供自動監控和收集檢查數據。KLA/TENCOR SP 1是半導體制造商尋求降低產量和成本、為客戶提供更高質量的產品並保持其競爭優勢的重要工具。