二手 KLA / TENCOR SP1 #9024558 待售

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ID: 9024558
晶圓大小: 8"-12"
Chuck, 8"-12".
KLA/TENCOR SP1是一種最先進的掩模和晶圓檢測設備,能夠以無與倫比的精度和精確度進行先進的電路檢測和分析。KLA SP1利用由兩臺數碼相機組成的雙視圖光學系統,提供檢測、計量、缺陷分類、OCR等多種功能,使其成為過程控制和生產優化的理想工具。其直觀、易於使用的軟件帶有廣泛的功能和設置,允許用戶根據自己的特定需求定制設備。TENCOR SP 1的Inspection功能允許檢測和識別眾多電路缺陷,如劃痕、開口、短褲、橋接、裂紋、假幾何等。利用先進的激光束轉向,KLA SP1能夠準確定位異常,並用視覺標記清晰顯示。利用Metrology功能,可以執行更復雜的測量和分析,例如評估叠加精度或表面粗糙度。缺陷分類功能使用自定義算法檢測和分類缺陷,然後可以使用通過/失敗指示器或收集到數據集中進行統計評估來顯示缺陷。OCR功能非常適合比較字符形狀和大小,同時評估覆蓋網格。SP 1還配有用戶友好的圖形界面,可提供多種查看選項。圖像數據可以以等高線圖、線框或叠加網格等多種方式顯示,可以從不同角度進行分析。專用的分析套件使用戶能夠創建復雜的數據查詢,並為精確的缺陷分析執行詳細的圖像比較。總而言之,SP1是一種用於掩模和晶圓檢測任務的強大解決方案,能夠以卓越的精度和精確度檢測廣泛的缺陷。先進的分析和自定義用戶設置使得這臺機器非常適合快速有效的過程控制和生產優化。
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