二手 KLA / TENCOR SP1 #9024561 待售

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ID: 9024561
晶圓大小: 8"-12"
Adapter plate, 8"-12".
KLA/TENCOR SP1是一種掩模和晶片檢驗設備,設計用於為半導體器件的生產控制提供快速可靠的基板檢驗。這個自動化的系統提供精確的視覺檢查能力,具有高分辨率的攝像頭和先進的算法。該單元的高分辨率檢測能力允許檢測極小的缺陷和汙染,而先進的算法則允許檢測細微的模式偏差和邊緣誤差。KLA SP1機由三個主要部件組成。第一個組件是光學器件,其設計目的是為檢驗過程提供卓越的成像質量。光學設計融合了高分辨率、遠心、大光圈和LED背光的鏡頭。第二個組件是工具的硬件和軟件體系結構。此資產是為實現最佳性能和易用性而設計的,具有多種可配置的選項和設置。該模型具有用戶友好的軟件,具有用於自動檢查和手動操作的直觀控制,以及高速的5倍圖像采集選項。TENCOR SP1的第三個主要組成部分是其圖像分析算法。這些算法旨在檢測和分析不同類型的底物缺陷或汙染。該設備采用各種不同的方法,如頻率編碼、比較映射和小波分析,以準確檢測和分類汙染物和缺陷。SP1還采用了基於特征的分類算法來識別缺陷的大小、形狀和方向。KLA/TENCOR SP1系統能夠同時對基板進行視覺檢查和缺陷分析。該單元能夠檢測和測量各種顆粒汙染、線寬和間距測量。機器還有一個缺陷類型和分類的綜合庫,可以針對任何特定的應用進行定制。KLA SP1工具非常適合在生產線上進行手動和自動基板檢查。其用戶友好的軟件、高級算法和高分辨率光學器件為廣泛的檢查應用提供了靈活性和可靠性。通過將強大的圖像分析算法與通用的用戶界面相結合,TENCOR SP1資產為高效可靠的基板檢測提供了一個最佳解決方案。
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