二手 KLA / TENCOR SP1 #9097785 待售

KLA/TENCOR SP1掩模和晶片檢測設備是一種用於掩模和晶片應用的高度精確和可靠的自動化檢測系統。它在整個半導體工業中使用，以確保光學、標線和晶圓特性的質量和精度。KLA SP1利用先進的激光光學傳感技術來檢測和識別關鍵尺寸、邊緣、基準和其他特征。為了確保準確性和可重復性，它還結合了專門的缺陷檢測算法來檢測請求特征中的異常。此外，它還具有檢測模式異常、橋接、摻雜物汙染、線寬變化和其他幾個參數的能力。TENCOR SP 1為用戶提供高分辨率和準確的結果,比較功能高達1/25,000毫米。其單位精度精度高達3 µm（0.003mm）。為了保證這種準確性，它包含了幾個檢查組件，如Auto Focus、Digital Zoom和Global Illumination；其他功能（如靈敏度均衡器）,允許用戶設置正確的閾值和靈敏度以進行最佳檢查。使用經驗豐富且用戶友好的圖形界面,用戶可以簡單地操作,可以並排比較多個晶圓或掩碼圖像,以便於進行視覺確認。此外，內置的統計分析儀對每次檢查結果進行評估，使用戶對其結果更有信心。KLA SP 1還配備了報告生成和導出功能以及機床聯網和聯網選項,使其易於集成到生產環境中。它還旨在符合全球安全要求、數據安全和ESD標準,讓用戶安心。總體而言,SP1 Mask和Wafer Inspection Asset是半導體行業先進可靠的檢驗工具,提供高精度和精密的檢驗,不僅可確保晶片和Mask的質量和準確性,還可確保其他關鍵部件的質量和準確性。