二手 KLA / TENCOR SP1 #9185509 待售
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KLA/TENCOR SP1是一種固有的用於掩模和晶圓檢查的設備。該系統配備了多角度照明源、輔助光學元件和定制開發的視覺映射電路。此外,該設備還具有先進的功能,能夠對晶圓織物進行精確成像。該機器有一個精確的光學處理工具，在資產的成像領域精確對準晶圓。這樣可以對晶片圖樣進行精確成像,並提供出色的空間分辨率。多角度光源提供了跨越廣域二維的照明角度陣列，每個光源提供不同的強度。這使模型能夠以恒定的光照捕捉圖像,並提供出色的均勻性和可重復性。設備的視覺映射電路是用於晶圓圖樣微觀成像的定制開發電路。電路集成到系統中，可以從晶圓圖樣中精確獲取圖像數據。此外，電路還提供了控制圖像采集過程參數的靈活性。該裝置還設有一個電動晶片處理機，用於驗證不同形狀和大小的晶片。這種自動化工具能夠快速、高效地驗證晶圓模式。該資產還與一個全面的數據采集和分析包集成在一起，使用戶能夠在安全的數據庫中分析和存儲圖像數據。此外,KLA SP1還包括一整套軟件工具,以增強成像和數據分析過程。軟件允許用戶執行對齊、分析、層驗證和模式比較等各種任務。該模型是為便於使用而設計的，是檢驗和驗證晶片和掩模的有效和可靠的解決方案。
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