二手 KLA / TENCOR SP1 #9193057 待售

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ID: 9193057
晶圓大小: 8"-12"
Single open handler, 8"-12".
KLA/TENCOR SP1是一種自動化的掩模和晶圓檢測設備,專為高速、精確和生產率而設計。這種先進的系統非常適合各種半導體生產和封裝環境。KLA SP1具有自動加載機制,最多可加載八個掩模或一個晶圓。它使用最新的光學和敏感檢測器以高分辨率模式檢查每個掩模或晶片表面。此單元可以檢測遮罩或晶片表面的缺陷,如劃痕、凹坑、汙染和空隙。其獨特的CMT公差特性可以檢測到系統缺陷如錯位、錯位、圖案變形等。結果在SPC式報告中報告。TENCOR SP 1是一個開放的體系結構平臺,易於使用和配置。它具有直觀的圖形用戶界面和軟件環境,旨在方便編寫腳本和自定義。該機配備了強大的計算機工具,提供充足的存儲和處理能力。它還包括一個集成缺陷審查工作站,可以從三維角度分析缺陷。TENCOR SP1專為生產環境而設計,融合了一系列安全功能。它使用空間濾波器和雙驅動器優化精度和吞吐量。此外,它的內置分析提供實時缺陷分析,使操作員能夠利用資產的功能。總體而言,SP1是一種可靠而有力的掩模和晶圓檢測模型。它的自動化功能可提高效率和準確性,而其全面的安全功能可確保最高級別的用戶保護。
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