二手 KLA / TENCOR SP1 #9202637 待售

KLA/TENCOR SP1是一種掩模和晶圓檢測設備，提供廣泛的檢測能力，以提高半導體制造工藝的質量。該系統包括高分辨率成像、高吞吐量性能、總體模式檢查、自動缺陷審查和數據分析等先進技術。KLA SP1為快速缺陷定位提供晶圓級缺陷審查,並提供多種成像技術以滿足客戶和行業標準。TENCOR SP1利用高分辨率成像（HRI）技術提供卓越的缺陷檢測能力。HRI技術基於原子吸收光波不同的原理，取決於其化學結構。通過組合兩束光束產生高放大圖像，TENCOR SP1可以檢測原子鍵之間的獨特對比。這使得它能夠檢測微小缺陷的存在，如顆粒碎片或層厚度的變化。SP1還具有專門的模式識別算法和專門的軟件，以快速檢測、分類和分析缺陷。這些算法根據圖層中的形狀、大小或位置過濾對象。可以以最高的準確度識別和分類缺陷。軟件還可以生成數據摘要報告，用於檢測半導體特定工藝或層中的趨勢。KLA SP 1還提供總模式檢查（TPI）功能。TPI是一種技術,它允許設備掃描整個模式,檢測所有可能的缺陷。使用集成顯微鏡，機器可以進行全場掃描，用即時反饋映射整個模式。這有助於防止未報告的錯誤,並降低診斷和修復任務的復雜性。最後,SP 1專為高通量性能而設計。它以每小時250晶圓的速度處理大量數據。這種超高速使得它能夠同時快速檢測和分析多層缺陷。總之,KLA/TENCOR SP1是一種先進的掩碼和晶片檢測工具,具有優異的性能和無與倫比的缺陷檢測能力。它提供高分辨率成像、模式識別算法和總模式檢測能力，以確保精確的缺陷檢測。此外，該資產還提供高通量性能，以跟上半導體行業的高需求。