二手 KLA / TENCOR SP1 #9248076 待售

KLA/TENCOR SP1是一種串聯掩模和晶片檢測設備,專門設計用於檢測整個矽片或掩模表面的關鍵缺陷。其專利照明技術，稱為HDIR（高清圖像識別）照明，照亮了在普通光學檢查系統下看不見的小缺陷。它的分辨率高達4K x 4K，使得它只能檢測到幾微米大小的缺陷。該系統由一個直觀的軟件提供動力，該軟件利用復雜的算法和分析來自動評估缺陷。它旨在快速識別它們並生成全面的計量報告,從而幫助減少誤報和產量損失。該單元還具有一臺用於內聯晶片映射的機器，以快速查明和映射缺陷位置，以及一個自動駕駛儀功能，使其能夠以最小的用戶交互自動運行作業。此工具功能強大,足以檢查晶片和掩碼。對於晶片，它可以檢測到弱點，如線緣粗糙度和角縮短，以及一般的汙染。它還檢測線寬驗證的模式間距，以確保晶圓滿足生產要求。對於口罩，它能夠檢測到被灰塵、顆粒或銹蝕汙染的口罩。資產還可以檢查區分標記或標識模式,以確保掩碼滿足生產要求。KLA SP1模型運行一整套用於評估的行業標準測試套件,使用戶能夠將其結果與從可比系統獲得的結果進行比較。它高度可配置,以適應任何進程、應用程序或環境,並且還與多個啟用WLAN的接口兼容,從而允許遠程診斷和維護。總體而言,該設備旨在提供幹凈、準確和可靠的結果,而無需操作員幹預。這使得TENCOR SP 1成為半導體屋面行業和需要檢查其用品的設計師的理想解決方案。其HDIR照明技術和可靠的分析有助於保證口罩和晶片無缺陷並符合生產標準。