二手 KLA / TENCOR SP1 #9293262 待售

KLA/TENCOR SP1是一種用於檢測晶圓或光掩碼上的表面缺陷（如顆粒、劃痕或針孔）的掩模和晶圓檢測設備。該系統采用內聯計量、檢驗和檢驗後審核能力相結合的設計。它覆蓋有暗場照明的亮場照明，提供增強的對比度和缺陷檢測在不同的角度，以產生最高的靈敏度。該單元采用雙面雙束激光掃描和多波長LED光源，確保完全尺寸均勻性和可檢測性。它配備了先進的檢驗/計量加工機（IMP），允許用戶將各種測量和檢查模塊應用於他們的特定工藝要求。正在申請的專利5倍固態激光掃描儀采用兩次繞行的單次掃描眼科技術，實現高速測量和數據精度。為進一步確保準確性,KLA SP1使用自動全場成像工具以及多種用於缺陷檢測和分析的高級算法。它包括先進的圖像處理和3D圖像處理算法的應用，以增強缺陷檢測能力。此外,資產還集成了高級軟件工具,以提供額外的價值,例如缺陷的精確定位、大小確定和分類。高彈性的TENCOR SP 1具有用於極端溫度、氣體和濕度控制的環境室。它還設計了一個軌道安裝，高振幅氣刀，在檢查之前去除超細顆粒。該模型效率高,通過自動缺陷審查提供了方便和快速的分析。32負載APC模塊和聚焦電路選項允許在單個晶片上進行高生產率和缺陷分析。總體而言，SP 1是一種最先進的掩模和晶圓檢測設備，旨在滿足半導體制造的挑戰性要求。該系統提供高精度和質量控制，由於其先進的處理特性、成像能力和檢查後審查能力。它是半導體工業中確保最佳產品質量和工藝的寶貴工具。