二手 KLA / TENCOR SP1 #9382809 待售

ID: 9382809
晶圓大小: 12"
Particle counter, 12".
KLA/TENCOR SP1是一種掩模和晶片檢驗設備,用於成像和檢驗半導體制造掩模和晶片。它包括一個具有集成成像馬達、傳感器和光學設備的節省空間系統、一個軟件套件以及一個簡化設備與客戶制造環境集成的平臺。KLA SP1的主要目標是以高分辨率成像技術、邊緣圖覆蓋能力、檢驗結果統計分析以及提供線性、重復性和準確性的先進算法,實現對制造的掩模和晶片質量的快速可靠檢測。TENCOR SP 1由一個強大的光學平臺組成,它提供高分辨率的成像和卓越的照明,以提供可靠和可重復的檢查結果。該機器配備了集成的電動X-Y級,便於對6「或12」晶片或掩模進行無縫成像和檢查。它還包括一個先進的光路徑優化(LPO)技術,快速調整光路以優化圖像采集,同時將圖像噪聲降至最低。SP 1以每小時1000張影像的速度運作,提供高速和精密的影像,用於實時分析。與KLA/TENCOR SP 1關聯的軟件套件是一套軟件工具,通過提供工作流自動化、缺陷檢測、項目跟蹤和實時診斷來優化檢查過程。它旨在減少刀具設置時間、自動化實驗室測試和優化檢查周期。該套件包括其自己的綜合用戶界面,包含數據收集、圖像處理、缺陷分析、項目跟蹤、結果驗證和報告等功能強大的功能。它還能夠生成各種格式的檢查結果,包括PDF、HTML、XML和CSV。TENCOR SP1還配有簡化客戶與制造環境集成的平臺。它提供了可自定義、易於安裝的軟件解決方案,用於資產和庫存管理、計量協調以及結果驗證。它確保操作員與KLA SP 1資產之間的無縫通信,並具有將多個SP1系統連接在一起的能力。該平臺還通過提供詳細的活動記錄以實現可追蹤性,幫助簡化生產並最大程度地減少停機時間。憑借其強大的成像技術、先進的軟件套件和智能平臺,KLA/TENCOR SP1使客戶能夠快速準確地檢查其半導體器件、晶片和掩碼。它消除了手動缺陷,提供了易於集成的定制,並有助於降低成本和最大限度地提高制造過程的效率。
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