二手 KLA / TENCOR SP2 XP #9195049 待售

KLA/TENCOR SP2 XP是一種掩模和晶片檢測設備，提供卓越的光學性能和業界領先的測量精度，用於高精度的研究、開發和制造用途。其最先進的光學設計為半導體掩模和晶圓檢測提供了卓越的圖像捕獲和先進的缺陷檢測能力。它還提供了直觀的操作員界面和自動化程序，以實現快速、可重復的結果和易於操作。KLA SP2 XP系統專為優越的光學性能和檢查精度而設計，提供與同類系統相比具有全景深照明和10倍大視野的高分辨率成像。這允許用戶檢測結構中非常小的缺陷和變化，同時避免誤報。TENCOR SP2-XP具有集成掃描單元,包括533 nm固態激光器、整個晶圓上的快速移動光束和用於實時圖像捕獲的CCD檢測器。它還包括一整套用於條件評估、缺陷低對比度檢測和缺陷檢測的軟件工具,使用戶能夠檢測非常小且難以看到的缺陷,同時避免虛假結果。SP2-XP是為了滿足最苛刻的要求，半導體晶圓和掩模檢查。它具有掃描和非掃描兩種模式的納米級分級控制的高精度分級機，以及超高速掃描均勻性和精度的先進電機控制。該工具還提供了交互式用戶體驗,具有直觀的GUI和自動化程序,可快速、輕松地檢測和隔離缺陷。實時缺陷檢測可以在兩種模式下完成：不間斷掃描和不間斷自動檢測，從而提供更大的靈活性和時間節省。KLA/TENCOR SP2-XP是一個經濟高效的解決方案，簡化了檢查晶圓和掩模模式的過程。憑借其優越的性能和全面的功能集，是在研發、制造中進行掩模和晶圓檢測的理想選擇。