二手 KLA / TENCOR SP2 XP #9199327 待售
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已售出
ID: 9199327
晶圓大小: 12"
優質的: 2014
Particle counter, 12"
(3) Loadports (TDK)
KAWASAKI Robot
2014 vintage.
KLA/TENCOR SP2 XP是來自KLA的最先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統是專門為檢查半導體制造中使用的掩模和晶片而設計的。KLA SP2 XP提供高分辨率、高通量的優越晶片缺陷檢測。TENCOR SP2-XP擁有一個強大的200萬像素數字圖像處理單元,能夠準確評估小至6µm的缺陷。檢測機能夠產生包括自上而下、傾斜、橫截面和反射圖像在內的各種圖像類型。此外,SP2 XP與波長為355nm或1064 nm的高能激光器集成,用於晶圓檢測過程。KLA SP2-XP能夠檢測非常小的缺陷信號,包括那些由粒子或其他粒子的存在引起的信號。此外,通過使用先進的激光技術,該工具能夠識別晶圓結構、表面或輪廓中任何不常見的變化。TENCOR SP2 XP還可以檢測損壞或缺失的特征,如小或缺失的溝槽、毛刺或孔。除了先進的成像和檢測能力外,SP2-XP還配備了若幹生產力和性能功能。與其他檢查系統相比,該資產的快速速度使其能夠快速執行自動目視檢查,以識別一小部分時間內的各種缺陷。此外,KLA/TENCOR SP2-XP的高吞吐量確保檢查過程順利進行,不會出現任何延遲。最後,KLA/TENCOR SP2 XP還包括多種軟件和硬件選項,為用戶定制模型提供了很大的靈活性,以適應他們的特定需求和要求。通過這些功能,KLA SP2 XP能夠提高產品質量並確保掩模或晶片符合最嚴格的行業標準。
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