二手 KLA / TENCOR SP2 #293603852 待售
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KLA/TENCOR SP2是為半導體工業設計的先進的掩模和晶圓檢測設備。是高容量晶圓級缺陷檢測的理想解決方案，提供正面和背面接觸成像的自動光學檢測。該系統能夠檢測半導體晶圓制造中的缺陷,從最復雜的圖樣和接觸形狀到非常小的細節。KLA SP-2有一個先進的目標和照明器，它提供了一個復色成像單元，用於成像具有無與倫比的對比度、分辨率和空間精度的視場。其獨特的雙光譜成像技術能夠快速檢測到透明和不透明的缺陷，直至1 um間距。其他成像功能包括自動非均勻性校正、背景減法、小特征分辨率和增強對焦。TENCOR SP 2在不同的晶圓成像模式下運作，如RGB光微成像、亮場成像和弱光背側成像。它具有先進的檢測能力，可用於檢測蝕刻和非蝕刻電路、接觸形狀以及基板層中的缺陷。其智能檢測算法利用不同類型的濾波、卷積和神經網絡聚類，比人工晶片檢測更快地檢測缺陷。SP 2有一個用戶友好的圖形用戶界面（GUI），允許操作員對機器進行編程以進行更準確的缺陷檢測，並檢查用於處理的參數。此外,該工具還通過一套功能強大的分析和報告工具支持數據分析和管理。KLA/TENCOR SP-2通過提供快速準確的缺陷檢測,提高制造周期的產量,提高工藝精度。適用於晶圓級晶片稀釋工藝、凹凸和中間細粒線形成工藝，以及處理透明技術，如3D IC、指紋認證、物聯網等。
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