二手 KLA / TENCOR SP2 #9023715 待售

KLA/TENCOR SP2是一種自動化的掩模和晶片檢查設備，用於在集成電路生產過程中檢查掩模和晶片。KLA SP-2的精確度和速度是其先進的光學和測量技術以及自動缺陷檢測能力的結果。TENCOR SP 2測量成功檢查掩模和晶片所需的所有主要OPC（光學接近校正）參數，包括CD（臨界尺寸）和MIS（微觀檢查系統）測量。它還包括OPC模型建立能力，可以測量CD-SEM、CD-FTIR（傅立葉變換紅外）、CD-AFM（原子力顯微鏡）、AUBO-OCT（光學相幹斷層掃描）和條紋投影。KLA SP 2的最先進的納米級測量技術采用了五維對準單元，在調整相機鏡頭位置和角度時提供了增強的靈活性和精度。SP2采用專門的缺陷檢測算法和圖像處理過濾器來檢測、量化和報告其發現。除了讀取KLA和TENCOR生成的圖像外,它的大型成像庫還可用於將測試圖像與已建立的好組件模式進行比較,或為檢查或挑戰做好準備。例如,它的自動缺失級別檢測可以快速識別晶圓中缺少的適當級別,從而使用戶能夠快速識別和解決生產過程中的任何問題。最後，SP2包括一個連續自動對準機器，配合傳感器的光場圖像工作。用戶只需輸入適當的參數,即可快速自動校準工具以檢測批次不可接受的產品。此外,該資產的自動缺陷識別算法的可靠性超過90%,這意味著該模型可以獨立檢測復雜的缺陷和分類。綜上所述，TENCOR SP-2是一款先進的自動蒙版和晶圓檢測設備，配備了最新的光學和測量技術。其檢測和快速分類缺陷、測量OPC參數和自動對準圖像的能力使其成為集成電路生產過程中不可或缺的工具。