二手 KLA / TENCOR SP2 #9167412 待售

KLA/TENCOR SP2是一種掩模和晶片檢測設備，提供半導體掩模和晶片表面的高速、高分辨率成像，能夠進行高度敏感的缺陷檢測。系統能夠在每次掃描中掃描一個或兩個完整晶片,並能夠在單個晶片掃描和完整晶片檢查之間進行切換。該單元有四個主要組件-光源、照相機、光學室和自定義成像軟件。光源是由三個不同波長組成的定制LED陣列。此配置提供統一但高強度的照明,這意味著圖像質量在不同的曝光條件下保持一致。KLA SP-2的相機是一個背光CCD成像陣列。它旨在最大限度地提高對不同層次的掩模透明度和反射率的敏感性。這樣可以進行高對比度成像，使機器能夠檢測樣品表面的各種缺陷和其他特性。光學室濾出相機和圖像中不需要的低級光源，同時也為相機提供有效的對焦。加上工具獨特的照明設置，這個光學室還用於控制資產的景深，允許用戶根據應用選擇一個淺或深的景深。最後，設計了TENCOR SP2軟件來快速準確地處理模型產生的圖像。它包括多種圖像處理算法，包括缺陷檢測、自動縫合、圖像配準和像差校正。軟件還允許用戶進一步自定義他們的分析，使他們能夠將專門的算法應用於樣本表面上的特定模式或特征。總體而言,KLA/TENCOR SP-2是一種功能極其強大的掩模和晶圓檢測設備,可為用戶提供其半導體樣品的精確和高分辨率成像。該系統具有通用的光學室、高效的LED照明陣列和先進的圖像處理算法,能夠檢測到各種缺陷和特性,直至亞微米級。