二手 KLA / TENCOR SP2 #9199155 待售
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KLA/TENCOR SP2是一種掩模和晶圓檢測設備,設計用於提供極其精確的微量表面測量和缺陷檢測能力。利用先進的掃描和成像技術,系統能夠精確地解決最小的表面特征和缺陷。KLA SP-2利用在400-950納米可見範圍內操作的高性能CCD相機。使用高分辨率鏡頭捕獲圖像,然後通過強大的圖像處理算法進行處理。這些算法檢測不熟悉的特征,如「異物粒子」、位錯、劃痕和其他表面缺陷。然後存儲圖像以進行進一步分析。該單元在掃描和測量樣品時非常重視速度和準確性。它的掃描速度高達每秒500萬像素,換算成每小時200晶圓的最大掃描速率。可以使用多種多軸卡盤來支持大樣本,PCI/SCSI接口允許對樣本進行遠程控制和處理。該機還可以升級高級鏡頭和額外的軟件選項,以提高多功能性。例如,多點平面掃描選項允許TENCOR SP 2一次快速檢查大面積區域。此外,擴展的動態範圍功能可實現高精度測量,而使用專用軟件(如多區域叠加功能)可提供高精度缺陷檢測。KLA/TENCOR SP-2是一種先進的掩模和晶圓檢測工具,可以快速準確地處理大量樣品。憑借其高分辨率的成像功能和多種軟件選項,SP-2確保了準確的缺陷檢測和高度精確的測量。該資產是半導體生產中頂級質檢的理想選擇。
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