二手 KLA / TENCOR SP2 #9232738 待售

KLA/TENCOR SP2是設計用於半導體制造的掩模和晶圓檢測系統。利用先進的單光子計數技術，KLA SP-2為掩模和晶片提供了全面的缺陷檢測和檢測解決方案。TENCOR SP2由專用掩模檢測子系統和晶圓基板檢測子系統組成。這些子系統中的每一個都配備了集成成像、成像掃描儀、照明器和缺陷分析軟件。成像掃描儀可實現具有動態聚焦和曲率測量功能的高分辨率成像,從而實現圖像比較的高精度。這些照明器提供高度加速的照明，使檢查速度達到最大，並優化缺陷檢測。SP2還具有用於自動缺陷檢測和缺陷分類的高級成像軟件。這些軟件應用程序旨在識別常見的過程類型-開發和缺陷相關異常,以及制造不當或設備錯誤造成的缺陷。此外,成像軟件與SEM和TEM成像技術兼容,能夠快速準確地檢測缺陷。為了最大限度地提高吞吐量,SP-2具有多層、全自動掃描功能。這種自動掃描功能允許同時檢查和分析多個掩碼/晶片切片,從而顯著提高了檢查速度並改善了掩碼/晶片缺陷覆蓋範圍。KLA SP2還包括用於掩碼和晶圓表征的集成用戶界面。此用戶界面提供高效的圖像可視化、比較和分析,允許用戶快速查看和優化用於生產的掩碼/晶片。此外,系統還配備了一系列統計信息、圖像處理和分析工具,以確保最大程度的過程控制和產品可靠性。最後，TENCOR SP-2系統包括一個先進的數據記錄和統計工具，它提供了缺陷類型和大小的詳細記錄和分析。此功能允許對缺陷進行精確分析,從而在生產過程中實現詳細的根本原因分析和改進決策。總體而言,TENCOR SP2為掩模和晶片檢查提供了理想的解決方案,以自動化和高效的方式提供了全面的缺陷檢測和特性鑒定功能。