二手 KLA / TENCOR SP2 #9282100 待售
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KLA/TENCOR SP2是一種先進的自動光學檢查(AOI)設備,設計用於掩模和晶圓檢查應用。該系統采用先進的計量學和晶圓檢測儀,將高強度和重復性與高分辨率成像相結合。它提供了增強的缺陷檢測功能,並提供了廣泛的覆蓋工具,以滿足流程要求並幫助降低成本。KLA SP-2機包括暗場、多波長和偏振成像等先進的檢測和制圖技術,使其能夠檢查挑戰設備中最困難的缺陷。該工具還采用了結合計算機輔助檢測和高級顯微鏡的混合算法,用於高精度缺陷檢測和分類。此外,TENCOR SP2利用基於矢量模型的缺陷捕獲和測量算法加速缺陷檢測和分類,提供了一種高質量的輸出,可作為其他特定分析工具的輸入。KLA SP 2資產進一步提供了擴展的高分辨率成像功能,包括部分覆蓋和3D成像,使客戶能夠檢查各種電路層和基板上的納米級缺陷。它還提供了對「浮子」(亞微米粒子)進行分類和分類的獨特能力,以及局部化的邊緣和邊緣拉入檢測。SP2模型可提供高靈敏度和低錯誤率能力,從而改進質量控制。該設備還能夠進行高通量晶圓檢查和質量控制,提高每小時缺陷等級,並提高流程操作效率。該系統可以很容易地集成到公司現有的單元流程管理中,並附帶一套綜合的應用程序編程接口(API),用於自動化。KLA/TENCOR SP-2機器可實現精確、可重復的掩模和晶片檢測,從而降低生產成本並提高產品質量。可靠可靠的工具,具有先進的圖像分析功能、無與倫比的計量功能和直觀的用戶界面,共同確保了設備和晶圓檢測的最高產量。
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