二手 KLA / TENCOR SP3 SURFSCAN #9115616 待售

KLA/TENCOR SP3 SURFSCAN是一種用於快速準確檢測集成電路制造缺陷的掩模和晶圓檢測設備。它提供高分辨率、快速掃描、完全自動化以及與其他系統的輕松集成。KLA SP3 SURFSCAN系統在單單元解決方案中提供了具有高性能、高速采樣和測量功能的自動化表面檢查和微觀表面計量。TENCOR SP3 SURFSCAN包括自動化和高性能光學顯微鏡、電動級、以及強大的成像和分析機。通過將主動去除和計量技術與高分辨率成像相結合,沖浪掃描解決方案可以將采樣的精度和速度提高到以前無法實現的水平。SP3 SURFSCAN顯微鏡具有工作距離可達200 mm的高功率物鏡,提供卓越的精度和分辨率。強大的成像和分析工具加快了對物理、電氣和化學缺陷的檢測和分類,從而能夠快速準確地檢測和修復缺陷。KLA/TENCOR SP3 SURFSCAN資產還支持多種晶圓材料類型，包括鍍鋼、塑料和玻璃表面。此外,它還支持多種模式過程,包括光處理。它還設計用於支持經常用於納米級工藝的濕法和幹法。KLA SP3 SURFSCAN還提供集成的光學測試和計量工具，其中包括電阻率映射、CD和Roughness測量以及3D映射。這些工具使設備能夠快速表征,使最終用戶能夠在制造IC的過程中準確測量設備表征的變化。集成的光學測試和計量工具能夠更快、更精確地識別缺陷和識別過程模式。此外,高分辨率圖像采集和缺陷分類允許用戶準確檢測和修復任何缺陷。這樣可以實現更快、更準確的過程,並顯著降低制造成本。最後,TENCOR SP3 SURFSCAN還通過其直觀的圖形用戶界面提供了增強的用戶體驗,從而清楚地了解了發生了什麼。該模型的高級報告和數據分析功能使評估和比較過程和產品結果變得容易。集成的工作流設備使用戶能夠有效跟蹤和監控進度，實時查看質量指標。