二手 KLA / TENCOR SP3 SURFSCAN #9238001 待售

KLA/TENCOR SP3 SURFSCAN是一種高度先進的掩模和晶圓檢測設備。它是各種尺寸的光掩模和晶片檢驗分析的首要系統。這個檢查單位利用先進的光束掃描技術和復雜的算法來檢測從微米到納米的缺陷。此外,該機器還提供符合行業標準的全場缺陷分析和缺陷分類。該工具的主要特點是其先進的光束掃描能力。此資產使用光束檢查掩模和晶片並檢測任何異常。光束以線性方式掃描,能夠檢測單個像素上小於5微米的缺陷。這種掃描速率遠高於傳統的掃描電子顯微鏡，允許更全面的缺陷檢測。然後,模型的復雜算法繼續識別-並對檢測到的任何缺陷進行分類。分析圖像，將缺陷分為暗面和光面兩類。此分類可幫助操作員查看和識別可能的原因。除了提供缺陷檢測和分類外，該設備還可用於多種掃描後缺陷分析。它包括基於庫的智能缺陷分析和缺陷大小、位置、形態和缺陷歷史的統計測量等選項。此外,它還可以模擬任何缺陷的計量測量.該系統還能夠執行一系列光刻模擬、分析和其他光學測量。為了支持更復雜的設計,該單元集成到Mentor Graphics和KLA等領先行業制造商的最新光刻設計和模擬工具中。總體而言，KLA SP3 SURFSCAN掩模和晶片檢測機是檢測和分類各種尺寸的光掩模和晶片缺陷的可靠而精確的工具。它結合了先進的光束掃描、復雜的算法和掃描後缺陷分析，成為半導體制造行業的寶貴工具。