二手 KLA / TENCOR SP3 #293645625 待售

KLA/TENCOR SP3掩模和晶片檢驗設備是一種專門的質量控制系統，旨在檢測和測量光刻掩模和晶片表面的缺陷。該設備能夠在短時間內準確有效地識別晶圓和掩模表面的缺陷。KLA SP-3利用先進的光學、成像和激光技術來檢測亞微米結構和其他異常。TENCOR SP 3配備了幾個功能，使其能夠準確確定缺陷並提供缺陷類型、其大小和位置的信息。這臺機器能夠進行各種檢查，如頂部表面檢查、圖像顯示、點計量、叠加計量和叠加散射計。所有這些檢查都可以一起使用，以提供增強的蒙版或晶片的整體圖像質量。為了確保準確性和一致性，SP3與一種名為Scanpool的創新技術集成在一起。這項技術允許對晶片或掩模表面進行精確和均勻的掃描，從而實現高度精確的測量和更高的效率。此外,KLA SP3還集成了糾錯、焦點優化、自動線路傳感器和一套高級圖像處理算法。SP-3進一步能夠進行超微米聚焦優化、糾錯和Z高度的高端線路分析。此外,它還可以單獨測量表面粗糙度、寬度、CD和CD變化,從而改進缺陷分析和表征。此外,KLA/TENCOR SP 3配備了直觀的用戶界面,而Control Workstation軟件允許輕松操作和定制,使其成為一個強大而靈活的工具。TENCOR SP3是一種功能強大且經濟高效的工具,可確保高質量控制。它提供可靠、一致的檢查和準確性,使其成為質量控制應用的理想選擇。它還為成本提供了巨大的價值,使行業能夠從成本節約和改進的過程控制中受益。