二手 KLA / TENCOR SP3 #293648486 待售

KLA/TENCOR SP3掩模及晶片檢測設備是一種最先進的成像和分析設備,旨在檢測和識別半導體掩模和晶片中的缺陷。KLA SP-3配備了先進的光學、先進的圖像處理和精密的測量軟件，以確保每一個功能都得到徹底的檢查和測量。TENCOR SP 3利用專有的「三維照明」技術開發出高分辨率圖像，用於精確的缺陷檢測和測量。該系統能夠獲得最復雜形狀的清晰圖像,包括具有窄間隔線和緊密耦合空間的圖像。所使用的高級光學器件的視場為52 μ m,可以檢測小至4 μ m的特征大小。該單元的照明方面包括範圍廣泛的LED照明光譜和高精度瞄準視圖區域，從而可以對線寬、尺寸、位置等特征進行詳細檢查。TENCOR SP-3擁有先進的自動化測量軟件,能夠進行本地化和全局缺陷測量。機器使用算法和用戶定義測量的組合來預測和檢測缺陷類型，如線寬、尺寸和位置（LWDP）違規、臨界尺寸（CD）錯誤和電導率錯誤。它還特別配置為滿足電容、泄漏和氧化物捕獲等電路設計挑戰。KLA/TENCOR SP-3工具非常方便用戶且易於操作。它提供了一個全面、直觀的界面,便於驅動、檢查、測量和分析缺陷和特征。資產還配備了全面的基於知識的方法,使用戶能夠快速輕松地查找信息。SP-3提供了提高吞吐量和生產率的多功能工具,同時使工程師能夠快速、準確地檢測和測量缺陷,從而提高半導體制造質量和效率。該模型還得到了業界領先的客戶支持工程師團隊的支持,他們可以討論與設備及其功能相關的任何問題。