二手 KLA / TENCOR SP3 #293648610 待售

KLA/TENCOR SP3是一種掩模和晶片檢測設備，用於檢測半導體晶片和掩模上的缺陷。該系統采用機器視覺技術，包括檢測、缺陷審查、提高產量和自動操作功能。KLA SP-3將亮場和暗場成像與將晶圓移動到不同成像位置的機械臂結合在一起。它旨在檢測傳統的2D面罩檢查系統可能忽略的缺陷,如線條邊緣粗糙度和劃痕。TENCOR SP3利用亮場和暗場成像來測量線緣粗糙度和劃痕。對於亮場成像，該單元放大晶片的圖像，從而能夠檢測微米水平的線緣粗糙度和多個異常表面缺陷。暗場圖像處理有助於檢測外來材料和其他潛在缺陷,如芯片。該機還包括一個先進的照明均勻曝光和紋理光，以確保精確抵抗圖案圖像。該工具配有精細對準軟件，以確保精確成像。它還具有資產級自動化功能，利用機械臂將晶片旋轉到最佳觀察位置，以實現更好的成像。這使得模型能夠快速準確地掃描整個晶片的缺陷。TENCOR SP-3設計緊湊,可輕松裝入任何晶圓制造生產線。它連接到標準以太網、USB和RS 232端口,以便與其他系統集成。該設備能夠檢測具有高靈敏度的各種類型的缺陷，包括疏水、表面和狹窄的模式。檢測到缺陷後,系統將記錄數據,並提供有關其類型和位置的精確信息。KLA SP3還包括可以檢測其他系統可能看不到的缺陷類型的屈服增強算法。這使用戶能夠最大限度地提高產量並降低成本。該單元易於使用，包括一個用戶友好的圖形用戶界面來查看檢查數據。總體而言,KLA SP 3是一種先進的掩模和晶片檢測機,可精確檢測缺陷並幫助提高產品產量。利用機器視覺技術和先進的自動化功能，快速準確地檢測缺陷。它還包括用戶友好的圖形界面,便於輕松查看數據。