二手 KLA / TENCOR SP3 #9183008 待售

KLA/TENCOR SP3是為半導體工業設計的掩模和晶圓檢測設備。該系統利用高性能的光學和成像系統來自動化晶片、掩模和透鏡的檢查過程。該單元包含幾個組件，包括光學平臺、圖像分析和成像組件，以及高級觸摸屏數據審查。KLA SP-3是圍繞高分辨率、充滿電荷的設備成像CCD構建的,其像素分辨率高達13K,可生成晶圓、掩碼、鏡頭和其他組件的高分辨率圖像。TENCOR SP 3除了捕獲設備的高質量圖像外，還可以捕獲缺陷圖像，並與參考樣本進行逐模比較。這樣，機器就可以檢測到任何可能影響晶圓性能的缺陷的位置、類型和大小。該工具配備了強大的成像和數據審閱界面，為用戶提供了一個真實的圖形環境，用於審閱和評論晶圓性能，包括趨勢圖和CD圖。此先進技術包括易於使用的功能（如SmartDefect識別和缺陷分類）,以幫助快速識別和分析缺陷特征。資產還包括一個內置的缺陷庫和高性能的軟件算法，可以為用戶提供快速、準確的晶圓和掩碼分析。KLA/TENCOR SP 3結合了先進的成像技術以及易於使用的觸摸屏功能和高度直觀的用戶界面。利用該模型方便的用戶界面,用戶可以從生產線中的任何位置以任何規模快速訪問檢查結果,以便於理解圖形演示。設備中包括的所有部件都完全符合安全和準確性的行業標準。KLA SP3是一種革命性的掩模和晶片檢測系統，旨在為半導體制造商提供最有效、準確、可靠的方法來檢測、分析和修復晶片、掩模和透鏡元件中的缺陷。該設備具有強大的成像和數據審查功能,使其能夠提供有關缺陷特性的詳細信息,從而最大程度地節省成本並提高設備性能。