二手 KLA / TENCOR SP3 #9236215 待售

KLA/TENCOR SP3是一種掩模和晶片檢測設備，旨在對掩模和晶片缺陷進行全面準確的評估，從而能夠正確及時的糾正行動。該系統由光學顯微鏡頭、激光束和光電探測器組成，用於檢測和測量缺陷。顯微鏡頭功能包括自動圖像捕獲、缺陷檢測和自動分類。激光光束用於快速檢測和高精度識別缺陷，光電探測器提供晶圓和掩模清晰清晰的圖像。該單元生成晶片或掩模缺陷的詳細報告,其中包括缺陷大小、形狀、傾斜和深度的測量值。該機器與主機檢查和計量系統連接，能夠實時管理缺陷信息和分析。該工具還包括功能強大的可視化工具,可輕松顯示缺陷。這可用於便於分析和識別缺陷，並有助於糾正行動。該資產的設計旨在確保高效和快速周轉的檢查和分析，同時盡量減少用戶幹預。該型號還可以升級,並具有自動校準、資源和節省時間的功能。KLA SP-3設備能夠操作多達150毫米的晶片，並附帶各種選項，包括適合各級檢查的濾鏡、透鏡和啟用器。其可配置的配方技術可確保各種應用程序的最佳性能。TENCOR SP 3的高級編程允許模擬各種條件並檢測所有類型的缺陷，從表面切割到堆疊的掩碼。該系統內置智能，為大容量晶圓檢測提供了準確的結果，也確保了關鍵和復雜缺陷的高精度。KLA SP3具有高度可靠和用戶友好的直觀導航和控制功能。它提供了一整套缺陷和晶圓分析解決方案,實現了更好的過程控制、更快的制造和更高的效率。