二手 KLA / TENCOR SP3 #9236717 待售

KLA/TENCOR SP3是為先進設備制造而建造的高精度掩模和晶圓檢測設備。該系統利用亮紅色LED成像引擎提高了結果,利用KLA行業領先的光學計量、成像和分析技術提供了卓越的準確性和識別速度。KLA SP-3的分層方法結合了卓越的照明和像素級分辨率,能夠收集每個應用程序所需的特定數據。該單元使制造商能夠從多個級別的測量中獲取和比較數據,以準確檢測和識別晶圓和掩模模式。先進的光學檢測機，TENCOR SP 3設計有高速紅外（IR）激光器、先進的光學、光源和幾個圖像傳感器。此設計使該工具能夠檢測掩碼和晶片系統上的缺陷,同時提供卓越的分辨率。該資產能夠以與單個光波長一樣細的分辨率無損測量和檢測掩模和晶片圖樣中的缺陷。此外，該模型還提供亞納米精度。設備采用模塊化設計，允許用戶根據自己的特定應用進行定制。例如，該系統可用於檢測堆叠、橋接、短褲、汙染物、凹坑、劃痕等多種缺陷。此外,KLA SP 3還具有一個用戶友好的軟件平臺,具有多種功能,包括遠程訪問功能和自動過程控制優化,以進一步為特定應用程序定制設備。KLA/TENCOR SP 3的特性和功能使其成為對設備模式進行卓越檢查和表征的理想解決方案。憑借其準確高效的解決方案,SP 3是先進設備制造和關鍵檢測的首選。