二手 KLA / TENCOR SP3 #9251594 待售

KLA/TENCOR SP3是一種掩模和晶片檢測設備，提供無損、高分辨率的光掩模和晶片分析。該系統提供具有NA 0.85亮場/暗場雙鏡頭配置和光學雕刻的雙光束技術。它允許用戶在設計過程的任何階段訪問、管理和分析光掩碼和晶片,並在投入批量生產之前驗證其正常功能。KLA SP-3單元具有多種內置功能和組件,可實現快速、精確的性能。它的高分辨率區域掃描相機（HS-Camera）和多種光學器件以低像素噪聲水平提供了出色的成像能力。該機還采用智能聚焦技術，加速聚焦過程，產生更高質量的圖像，提高檢測性能。集成的軟件環境使用戶能夠使用用戶友好的界面設置、監視和存儲自動化流程。該工具有三種配置；固態單攝像頭、雙攝像頭資產和包括攝像頭和掃描儀的全型號。該設備還配備了自動對齊系統，用戶可以快速準確地對齊模式，以確保對確切的模式進行檢查。它還具有自動缺陷控制功能,可以快速準確地檢測和分類缺陷。TENCOR SP3設計用於精確、徹底地檢查掩模和晶片表面。其創新功能為快速、精確地檢查設備特性提供了自動化流程。因此，KLA SP3單元能夠準確和全面地識別微結構中的缺陷，而這些缺陷通常是人工檢查所看不到的。該機器能夠以一微米或更少的精度識別缺陷,並且能夠快速識別接觸和非接觸表面上的弱到中度缺陷。其高檢測靈敏度和準確性使其成為先進的光掩模和晶圓分析的理想工具。