二手 KLA / TENCOR Spectra CD 100 #9269260 待售

KLA/TENCOR Spectra CD 100是一種用於檢測光掩模和晶片缺陷和任何其他不規則性的掩模和晶片檢測設備。它有一個多軸光頭，使它能夠提供自動化的三維成像，詳細的缺陷檢查和數據分析。該系統配備了高端光學套件和先進的缺陷檢測算法，使其能夠檢測到面罩或晶片上最小的缺陷。KLA Spectra CD 100利用專有的「電子束檢測」（EBI）技術對掩模和晶片表面進行缺陷檢測。這項技術包括使用掃描電子束來創建掩模或晶圓表面的地形圖像，然後可以用來檢測和量化缺陷。TENCOR SPECTRACD 100能達到0.2 μ m的分辨率，甚至能檢測到最小的缺陷。除了單元的缺陷檢測能力外，Spectra CD 100還提供了對掩模和晶圓表面的詳細分析。它提供了三維成像和曲面輪廓分析功能,允許用戶深入可視化和分析曲面。該機器還能夠提供高達500晶圓/小時的吞吐量,並具有各種工具,使其能夠降低成本和提高產量。該工具旨在滿足半導體行業所需的標準（JEDEC、SEMI和MIL-STD）。它提供了一整套軟件工具,使用戶能夠分析每小時多達1000個晶圓的數據。軟件包括全面的報告功能、實時缺陷分析、自我監控傳感器以及多個用戶登錄。KLA/TENCOR SPECTRACD 100是檢測半導體工業中的掩模和晶片的理想選擇。它可確保高精度、節省成本和提高生產吞吐量,使其成為掩模和晶片檢查的絕佳選擇。