二手 KLA / TENCOR Spectra CD 100 #9399340 待售

來自KLA的KLA/TENCOR Spectra CD 100是一種用於檢測半導體工藝層中微觀缺陷和汙染的掩模和晶圓檢測設備。它使用先進的算法來準確可靠地檢查面罩、晶片和電介質的各個方面。該系統結合了敏感的光學和成像技術，以快速和精確地識別潛在的工藝問題和粒子汙染。綜合檢測算法為檢測到的粒子提供了準確的分類。該裝置的光學器件效率很高,可用於高對比度成像和檢測小缺陷和低汙染。先進的光學硬件和軟件的應用導致了更快、更高質量的工藝優化。KLA Spectra CD 100配備了允許在一次掃描中掃描大表面積的舞臺技術。機器具有較高的平移和旋轉精度，從每個晶片獲取大量圖像。功能強大的軟件配備了一系列可定制的報告格式，允許基於特定應用程序定制報告。該工具還可以配置為檢測和分析各種異常和潛在缺陷。掩模和晶圓檢查工具包（MWIT）具有多種模式，包括全模具和光譜成像。利用光譜成像，資產可以檢測和分類單個粒子、小塵埃粒子和溢出物，甚至在較大的表面上。先進且易於使用的軟件還提供了用於解釋、可視化和組織測量數據的分析工具。軟件可以生成圖形和pdf格式的自動報告。TENCOR SPECTRACD 100是設計和FA應用的理想選擇。它具有可靠、準確的性能，適用於檢測微粒汙染、塗抹和配準問題，直至亞微米級和納米級分辨率。先進的光學和成像功能即使在對比度較弱的區域也能檢測到小缺陷。這種功能強大的模型快速可靠,為用戶提供了一種經濟的解決方案,可用於推進工藝開發和改進掩模和晶圓檢測功能。